精密湿度发生器所使用的材料和气流经过精心设计，确保具有较短的湿度和温度变化响应时间。温度升高的变化率典型值为10°C/min，温度下降的变化率为1.5°C/min；湿度升高的变化率典型值为10%RH/min，湿度下降的变化率为5%RH/min。使用湿度发生器湿度发生器，2小时内便可实现6点校准。而双压法湿度发生器对湿度或温度变化的响应时间较长。对于类似的6点校准，普通的双压法发生器可能需要3个多小时。
精密湿度发生器主要利用以下五种原理。
1、改变已知湿度气体（主要是指饱和湿气）状态的方法。我们知道，气体的状态由压力、温度和体积来确定，对于饱和湿气，如果状态条件不变，那末水汽的含量是恒定的，反之，若状态改变，水汽含量亦随之改变。于是可以利用热力学P、v、T关系配制出所要求的湿度的气体，基于这一原理的方法有改变压力的方法，即双压法；改变温度的方法，即双温法；以及同时改变压力和温度的方法。
2、混合法，它又可以分为混流法和分流法两种。前者是将饱和湿气或过热蒸汽同干气混合：后者是将一股干气精确地按比例分为两股，其中一股用水汽饱和，另一股仍保持干燥、而后进行混合。
3、膜渗透法，膜的一侧是水，由于膜两侧的水汽分压不同，于是水汽通过膜向另一侧渗透。基干这一原理通常使用的方法是渗透管配气技术。
4、温度固定点法，即平衡水汽压法，这种方法是利用某些盐类或其它化合物的水溶液在一定的条件下其气相中的水汽分压保持恒定的原理。
5、化学方法。根据定比定律，氢和氧在催化剂存在的情况下能按比例地化合，生成定量的水。饱和器是这些发生器结构的重要组成部分，是发生含有饱和水汽的湿空气的装置，因此，建立在发生饱和湿气基础上的各种恒湿气体发生器，其性能与饱和器的效率密切相关。从发生器的工作原理，特点和适用的湿度范围出发，饱和器可以设计成多种形式，主要有（1）鼓泡式（2）喷雾式（3）塔板式（4）管式（5）离心式（6）“迷宫”式。
